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應用解決方案

半導體與器件特性測試

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自動化半導體參數測試解決方案

自動化半導體參數測試系統(tǒng)

針對大規(guī)模測試，如晶元上多點測試，復雜系統(tǒng)的自動化測試，自動化半導體參數測試系統(tǒng)（S500/S530/S540），支持各類晶元Wafer和MEMS的自動化、半自動化參數測試。廣泛用于晶元的
  • 失效分析測試（FA）
  • 質量控制測試（QA）
  • 可靠性分析測試（RA）。其中S540支持高壓功率半導體自動化參數測試。

S530 功能

  • 靈活的探測器接口選項，包括測試頭，支持原有吉時利和 Keysight 裝置
  • 觸摸一次探頭即可完成高壓和低壓參數的測試
  • 通過全新系統(tǒng)參考單元 (SRU) 進行全自動系統(tǒng)級校準符合最新質量標準
  • KTE 7 中的運行狀況檢查軟件工具最大限度地延長系統(tǒng)正常運行時間和提高數據完整性
  • 內置的瞬態(tài)過電壓和/或過電流事件保護可最大程度地減少代價高昂的系統(tǒng)停機或對晶片造成損壞

S540 功能

  • 在單次探頭觸摸中自動在多達 48 個引腳上執(zhí)行所有晶片級參數測試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測量，而無需更改電纜或探頭卡基礎設施
  • 在最高達 3kV 的條件下執(zhí)行晶體管電容測量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而無需手動配置測試引腳
  • 在高速、多引腳、全自動測試環(huán)境中實現低電平測量性能
  • 非常適合于過程集成、過程控制監(jiān)控和生產芯片分類中的全自動或半自動應用
  • 通過最大程度減少測試時間、測試設置時間和占地面積，降低擁有成本，同時實現實驗室級測量性能

S500 功能

  • 全量程源測量單元 (SMU) 儀器技術規(guī)格，包括 subfemtoamp 測量，確保在幾乎任何設備上都能執(zhí)行廣泛的測量。
  • 適用于內存檢定、電荷泵、單脈沖 PIV（電荷陷阱分析）和 PIV 掃描（自加熱回避）的脈沖生成和超快 I-V。
  • 利用支持 Keithley 系統(tǒng)的可擴展 SMU 儀器，提供低或高通道數系統(tǒng)，包括并行測試。
  • 適用于測試功率 MOSFET 和顯示驅動器等測試器件的高電壓、電流和功率源測量儀器。
  • 開關、探頭卡和布線保證系統(tǒng)完全適用于您的 DUT。

4080系列參數測試儀

4080系列專為滿足電流和尖端半導體技術的測量挑戰(zhàn)而設計。
4082A參數測試系統(tǒng)是一個高吞吐量的生產參數測試系統(tǒng)，它擁有先進的測試功能、高頻開關矩陣選件、高速電容測量選件，并全面支持SEMI工廠自動化測試標準。針對射頻器件測試，4083A提供可選的8×10射頻矩陣功能，用于提高射頻測試吞吐量，并延長探頭卡進行射頻 S 參數測量的使用壽命。
4082F閃存單元參數測試系統(tǒng)具有強大的脈沖功能，且該功能經過優(yōu)化用于表征最先進的閃存單元技術，所以能夠支持新型高壓半導體脈沖發(fā)生器 (HV-SPGU) 模塊。

4080系列參數測試儀

4082A
  • 同步和異步并行測試可將吞吐量提高50%或更多
  • 1 fA 和0.1 μV 測量分辨率
  • 可選HSCMU
  • 環(huán)形振蕩器測量解決方案選件

4082F

用于最先進閃存評測的生產就緒解決方案：

測量功能與4082A相同
集成HV-SPGU
  • 共計10個測量通道
  • ±40V輸出
  • 每通道輸出兩電平或三電平脈沖
  • ALWG任意線性波形發(fā)生器能力

4083A

  • 通過10個射頻端口進行S參數和RFCV測來給你
  • 可選20GHz 8×10 射頻矩陣，提高吞吐量。
  • 支持10個射頻端口和48個直流引腳

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廣州綠測電子科技有限公司（簡稱：綠測科技）成立于2015年11月，是一家專注于耕耘測試與測量行業(yè)的技術開發(fā)公司。綠測科技以“工程師的測試管家”的理念向廣大客戶提供專業(yè)的管家服務。綠測科技的研發(fā)部及工廠設立于廣州番禺區(qū)，隨著公司業(yè)務的發(fā)展，先后在廣西南寧、深圳、廣州南沙、香港等地設立了機構。綠測科技經過深耕測試與測量領域多年，組建了一支經驗豐富的團隊，可為廣大客戶提供品質過硬的產品及測試技術服務等支持。

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