激光干涉儀：五軸機(jī)床調(diào)試原理及應(yīng)用簡(jiǎn)介。

大家好我是CNC技術(shù)應(yīng)用，我們現(xiàn)在在用這臺(tái)雷尼紹激光干涉儀檢測(cè)調(diào)試這臺(tái)普銳米勒U500、搖籃式五軸的機(jī)床整體精度。

現(xiàn)在同事正在調(diào)試這臺(tái)激光干涉儀，需要把這臺(tái)激光干涉儀內(nèi)部射出的激光通過(guò)鏡片再折射到Z軸的鏡片上，激光再原路返回?，F(xiàn)在正在檢測(cè)的是Z軸的精度，和大家說(shuō)一下激光干涉儀的作用。

它可以檢測(cè)機(jī)床各個(gè)線性軸的各項(xiàng)精度，比如說(shuō)定位精度，也就是從a點(diǎn)到b點(diǎn)的定位準(zhǔn)確度。然后是重復(fù)定位精度，就是a點(diǎn)到b點(diǎn)的往復(fù)定位精度。還有就是線性軸的背隙，線性軸的絲杠在長(zhǎng)期的運(yùn)行過(guò)程中必然會(huì)產(chǎn)生一些磨損，磨損就會(huì)產(chǎn)生間隙，間隙導(dǎo)致精度上的損失。

所以我們通過(guò)激光干涉儀檢測(cè)絲杠全行程每段的誤差。因?yàn)槿粘＜庸ぶ幸话愕慕z杠中間磨損是比較嚴(yán)重的，所以在檢測(cè)時(shí)以30毫米為一段分段的檢測(cè)絲杠的間隙。測(cè)量完之后所有的數(shù)據(jù)都會(huì)上傳到電腦中，我們能查看到。

這個(gè)是檢測(cè)的過(guò)程，但是我們?nèi)绾稳バ拚@個(gè)誤差，總不能因?yàn)榻z杠的正常磨損就定期更換絲杠。這個(gè)時(shí)候可以通過(guò)系統(tǒng)的補(bǔ)償把激光干涉儀檢測(cè)出來(lái)的間隙值直接輸入到系統(tǒng)中，讓它自動(dòng)進(jìn)行一個(gè)補(bǔ)償。

我們現(xiàn)在第一次檢測(cè)已經(jīng)完成，我們來(lái)看一下誤差值，這個(gè)位置不確定度5.2個(gè)um，這個(gè)意思就是定位精度的意思，5.2個(gè)um，這是一個(gè)不錯(cuò)的數(shù)據(jù)。要知道這是一臺(tái)兩年到三年的一個(gè)機(jī)床，每天都在使用。

目前市面上絕大部分的三軸機(jī)和五軸機(jī)在出廠的時(shí)候定位精度也才標(biāo)到6個(gè)um左右，不信大家可以去看一下哈默米克朗德瑪吉(同等級(jí)機(jī)床，別拿科恩比較)，它們的機(jī)床出廠精度是多少？然后把測(cè)量得到的間隙值輸入到海德漢系統(tǒng)的，這個(gè)線性軸補(bǔ)償界面里面這個(gè)功能是所有系統(tǒng)都有。補(bǔ)償完成以后再做一次激光看看精度能優(yōu)化到什么程度。

·在補(bǔ)償完之后現(xiàn)在開(kāi)始做第二次的檢測(cè)，需要注意無(wú)論什么機(jī)床怎么補(bǔ)償都不可能把誤差消除到0，只能把誤差盡量的縮小，誤差是必然存在的。

·一會(huì)來(lái)看一下優(yōu)化后的數(shù)據(jù)反饋。現(xiàn)在Z軸不斷的在移動(dòng)，就是檢測(cè)每30毫米它所存在的間隙值是多少，注意看數(shù)值每隔30mm測(cè)量一次。

現(xiàn)在第二次檢測(cè)完成了來(lái)看一下激光干涉儀反饋的數(shù)據(jù)。全行程往復(fù)測(cè)量了三次，最后得到的數(shù)據(jù)是位置不確定度，也就是定位精度2.1個(gè)um，最大分散度也就是重復(fù)定位精度1.8um，最大反向誤差0.4個(gè)um，這就是絲杠的反向間隙。

這個(gè)算是非常好的數(shù)據(jù)了，可以看一下溫度是在28度左右去測(cè)量的，這個(gè)就是激光干涉及檢測(cè)精度和修正精度的方式。如果你覺(jué)得你的機(jī)床精度差，加工尺寸不準(zhǔn)確或者銑孔有橢圓，在排除其他機(jī)械故障之后可以打一次激光試試，效果是非常好的。