臺積電主管5月14日透露，臺積電A16先進(jìn)制程節(jié)點(diǎn)不一定需要艾司摩爾（ASML）最新的先進(jìn)芯片制造設(shè)備高數(shù)值孔徑極紫外光曝光機(jī)（High-NA EUV），原因是太貴了。彭博資訊揭露，這一部機(jī)器要價(jià)3.8億美元。臺積電業(yè)務(wù)開發(fā)資深副總經(jīng)理暨副共同營運(yùn)長張曉強(qiáng)14日在阿姆斯特丹一場技術(shù)研討會上表示：“價(jià)格非常高昂?！薄拔蚁矚gHigh-NA EUV的能力，但我不喜歡它的標(biāo)價(jià)?！?/p>

    彭博報(bào)道，ASML的這款新設(shè)備能夠用僅僅8奈米寬的線條壓印半導(dǎo)體，相較下，前一代機(jī)器的線條寬度則高出1.7倍。售價(jià)方面，這款EUV一部售價(jià)達(dá)到3.5億歐元（3.8億美元），重量等同于兩臺空巴A320客機(jī)。ASML是唯一生產(chǎn)用來生產(chǎn)最復(fù)雜半導(dǎo)體所需設(shè)備的業(yè)者，ASML產(chǎn)品的需求是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)景氣的晴雨表。

    英特爾已經(jīng)采購了ASML這款最新的High-NA EUV設(shè)備，而且在去年12月底，第一臺設(shè)備就已運(yùn)往英特爾奧勒岡廠。

    張曉強(qiáng)說，臺積電所謂A16先進(jìn)制程節(jié)點(diǎn)（預(yù)定2026年稍晚量產(chǎn)）不一定需要使用ASML的High NA EUV設(shè)備，而且可以繼續(xù)仰賴臺積電已有的較舊款EUV設(shè)備，“我認(rèn)為目前，我們現(xiàn)有的EUV能力應(yīng)該有辦法支援了”。

    張曉強(qiáng)表示，使用新的ASML技術(shù)，將取決于它在何處最具經(jīng)濟(jì)效益，以及“我們能夠達(dá)成的技術(shù)平衡”。他不愿透露臺積電何時(shí)將從ASML采購High-NA EUV。

    制造先進(jìn)導(dǎo)體正面臨成本上升、技術(shù)更加復(fù)雜的局面。英特爾面臨的挑戰(zhàn)尤多，還大力推動進(jìn)軍晶圓代工市場，想切入臺積電稱霸的晶圓代工市場。英特爾周一（13日）宣布晶圓代工服務(wù)事業(yè)迎接新的總經(jīng)理，這是該部門自2021年成立以來的第三位負(fù)責(zé)主管。