集成電路制造需要在超清潔的環(huán)境之中進行。這是一個使用超純材料進行超精細加工的行業(yè)。集成電路制造對潔凈室環(huán)境的控制有著嚴格的要求，不同的工藝對潔凈度有著不同的要求。例如，我們也知道光刻需要1級微環(huán)境，而化學機械拋光需要1000級微環(huán)境。

        半導體集成電路在生產過程中會接觸到很多污染物，如無機離子、有機物、微生物、氣體雜質等。另外，從廣義之上講，溫度、濕度、光照不當、靜電過大、電磁噪聲、空氣噪聲、微振動等也是特殊污染物。

        塵埃粒子計數器用于半導體集成電路生產的潔凈室

        其中，當顆粒雜質、無機離子、有機物、微生物和氣體雜質的含量超過一定限度時，集成電路產品會出現(xiàn)表面劃傷、圖案斷裂、短路、針頭孔、剝落等現(xiàn)象。它會導致電路泄漏和電氣特性異常，影響電路性能和使用壽命，或導致電路報廢。

        一般來說，由污染引起的電路產品故障率可能高達60%?？傊琁C芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關，缺陷密度與空氣之中粒子的數量有關。因此，隨著集成電路的快速發(fā)展，不僅要控制空氣之中粒子的大小，還要控制空氣之中粒子的數量。同時，對超大規(guī)模集成電路生產環(huán)境無塵車間項目的化學污染控制也有相關要求。

        半導體集成電路生產潔凈室采用塵埃粒子計數器

        針對這種情況，使用遠程空氣塵埃粒子計數器對半導體集成電路生產車間環(huán)境進行監(jiān)測，確保產品生產環(huán)境達到清潔標準，工礦網技術工程師建議使用美國particles plus公司的遠程空氣塵埃粒子計數器-5301，配置簡單，可從一臺儀器轉移到另一臺儀器，易于清潔和擦拭，具有最小的粒子捕集器，多功能安裝選擇，與設備監(jiān)控系統(tǒng)無縫集成。