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ASML暗示可遠(yuǎn)程癱瘓旗下光刻機(jī)，都在掌控中 包含最先進(jìn)EUV

發(fā)布日期：2024-05-22     311 次

5月22日消息，據(jù)外媒報道稱，ASML聲稱可以遠(yuǎn)程癱瘓旗下售出的光刻機(jī)，這引來網(wǎng)友的圍觀。

現(xiàn)在，報道中有給出了更多有趣的細(xì)節(jié)，比如ASML表示可以遠(yuǎn)程癱瘓（remotely disable）相應(yīng)機(jī)器，包括最先進(jìn)的極紫外光刻機(jī)（EUV）。

消息人士稱，EUV需要頻繁維護(hù)，如果沒有ASML提供的備件，這些機(jī)器很快就會停止工作。

此外，EUV的現(xiàn)場維護(hù)要求很高，它們被安置在無塵室內(nèi)，需要工程師穿著特殊的套裝以避免污染。

報道中還提到，ASML為某些客戶提供聯(lián)合服務(wù)合同，讓其進(jìn)行一些日常維護(hù)（對機(jī)器內(nèi)部），但無法訪問客戶機(jī)器內(nèi)的專有數(shù)據(jù)。

在這之前，ASML公司CEO就曾明確表示，目前公司沒有理由不為已經(jīng)出售給中國客戶的設(shè)備提供服務(wù)，他們在中國安裝的設(shè)備沒有服務(wù)限制。


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